分析电子显微镜

analytical electron microscope；AEM

是由透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针组合而成的多功能的新型仪器。其功能有：可获得透射电子图像、扫描透射电子图像、二次电子图像、背散射电子图像和X射线图像，可用X射线能谱和电子能谱进行微-微区成分分析，用多种衍射技术进行晶体结构分析、粒度分析和阴极发光观察等。在高分子材料科学中用于分析结晶材料中的缺陷和杂质。